在马来西亚，审批半导体激光治疗机时，技术文件要求主要包括以下内容：

产品描述：

详细说明设备的设计、功能和用途。包括设备的工作原理和技术参数。

技术规格：

提供设备的详细技术规格，包括功率、波长、激光类型、尺寸、重量等。

操作说明书：

包括设备的使用、维护和故障排除说明。说明书语言明确，并符合马来西亚的语言要求。

标签和包装：

设备的标签样本和包装说明，标签内容符合马来西亚的法律法规要求，并包括必要的警示信息。

风险评估报告：

提供详细的风险评估文档，说明设备可能的风险及其控制措施。通常包括风险分析和风险管理计划。

故障模式和影响分析（FME A）：

进行FME A以评估设备的潜在故障模式及其对设备安全性的影响，并描述已采取的控制措施。

性能测试报告：

包括设备在实际使用条件下的性能测试结果，如激光输出的稳定性、适当度和安全性等。

电气安全测试报告：

提供符合电气安全标准的测试结果，如IEC 60601-1标准的合规性。

激光安全测试报告：

提供符合激光产品安全标准（如IEC 60825-1）的测试结果，激光的使用安全性。

临床试验数据（如适用）：

提供临床试验数据或临床使用经验，以证明设备的安全性和有效性。对于高风险设备，临床数据要求可能更为严格。

ISO 13485认证：

提供制造商的ISO 13485质量管理体系认证证书，以证明其质量管理体系符合。

符合性声明：

提供设备符合相关国际或地区标准的声明，如CE标志、FDA批准等（如有）。

上市后监控计划：

描述如何进行上市后的监控，包括负面事件报告、产品跟踪和性能监控等。

制造商信息：

提供制造商的公司注册信息、生产设施的详细信息和联系人信息。

授权代理书（如适用）：

如果申请方不是制造商，需建议本地授权代理，并提供代理授权书。

所有技术文件都符合马来西亚医疗器械管理局（MDA）的要求和标准，可以提高审批的效率和成功率。在准备文件时，建议参考MDA的较新指南或与顾问合作，以所有材料的准确性和完整性。